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    Clean 대응 Series는 Clean Class 10(0.1μm)에 대응한 Clean Room   대응 Actuator 입니다. 반도체 관련이나 FPD관련 등 제조 공정의 반송,  위치결정 등으로 이용됩니다.

    특징

    1.Stainless Sheet 장착으로 본체 내부에서의 이물질을 방지하여 소량의

      진공(vacuum)에서 높은 Clean도에 대응 가능합니다.
    2.소형에서 대형까지 다양한 사양
    3.초대형 Size는 최대 2000mm/sec, 가감속도 1G의 고속이동 가능
    4.장기 Maintenance Free를 실현한 AQ Seal 표준준비
      (※AQ Seal: 주행중에 자동적으로 윤활유를 공급)