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1.최고 속도 2000mm/sec, 최대 가속도 1.0G로 Tack Time이 대폭 감소
2.600W, 750W의 고하중 Type이 추가되어 최대 150kg의 수평 반송이
  ​   가능합니다.
3.ISPDA-CR은 Dustcover를 설치하여 기구부가 없는 밀폐구조로 되어
  있으며 본체 내부의 이물질을 Vacuum으로 빼내어 Clean 도 Class10를 
  달성한 Actuator입니다.
  (※수직방향, 가로세움의 설치도 가능합니다.)

Type 최고속도 (mm/s) vaccum량 (NI/min) 부압치 ( mmAq)
S 800 30 -13
M 1000 70 -40
L 1000 90 -60
W 2000 120 -520

4.고속, 고 가속도, 고 가반중량, 고정도
  Ball Screw Lead 40mm의 추가로 최대 2000mm/s의 고속이동을 실현.
  600W,750W의 고출력 Type의 추가로 수평 150kg, 수직 60kg의 가반이송이 가능함.
  반복위치 결정도는 전기종 ±0.01mm 입니다. 

5.Base Size는 4종류

 6.Long Stroke Type의 최고속도을 중간 Support로 실현.
  중간 Support의 구조는 Slide로 연동되는 Ballscrew에 Support가 추가되어 Long Ballscrew의 진동을 잡아주고

  고속 회전에 의해 진동이 높을 경우에 최고 속도를 안정적으로 사용할 수 있게 도와주는 기구입니다. 

사양